檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Lithography".ekeyword (精準) and year="99"
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本論文針對複合功能轉印設備開發為主軸,並研究其熱壓轉印、紫外光固化轉印、氣體輔助轉印等製程。所開發之複合功能轉印設備提供一個穩定、高精度、大面積微奈米結構轉印之平台。 熱壓轉印製程中,藉由保壓模具之…
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目前在半導體與PCB影像轉移製程上,都朝向直接成像的曝光系統上進行開發突破,以節省製作光罩所需要耗費的高成本與製作時間長的缺點,故本實驗室一直都積極的研發DMD動態無光罩系統。 由於DMD…